近年来常见的消毒柜，如包材消毒柜、工作服消毒柜、瓶盖消毒柜、餐具消毒柜、档案消毒柜等都开始采用臭氧消毒的方式。臭氧消毒是常温消毒方式，不但消毒效果好，而且可以避免高温消毒导致某些陶瓷餐具表面铅金属的析出，同时，非常适合不能采用高温方式消毒的物品，如包材、瓶盖、塑料制品等物品的消毒，另，还可以节约大量的电力能源。

臭氧是一种具有广泛性的、的快速杀菌剂，它可以杀灭使多细菌、病毒及微生物。它的消毒机理是：通过在较短的时间内破坏细菌、病毒和其他微生物的结构，使之失去生存能力。臭氧的杀菌作用是快速的，当其浓度超过一定数值后，消毒杀菌甚至可以瞬间完成。臭氧对很多病菌、霉菌、病毒、真菌、原虫、卵囊都具有明显的灭活效果，且就灭菌时间来说，迅速无比，是氯的300-600倍，紫外线的3000倍。高温消毒与之是无法比拟的。臭氧还可以通过氧化反应除去有毒气体如CO、NO、SO2、芥子气等。